玻璃旋涂材料
| 玻璃旋涂材料 | |
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涂层材料 IC1-200 DC4-500 |
厚度 0.17µm - 0.50µm 0.45µm - 1.0µm |
- 应用
- 平整的涂层可以作为多级金属工艺中的电介质部分
- 保护用涂层材料
- 作为三层光刻胶工艺中的间隔材料
- 特性
- 可适用于旋涂工艺
- 常温下保存3年
- 与聚合物有很好的黏附性
- 在温度低于100度（℃）时难溶于共有溶剂
- 适用于有代表性的光刻胶涂布设备，不需要SOG涂布机
- 对生产率的影响
- 在一些应用中可省去CVD制程中的SiO2
- 在多级金属制程中省去SiO2蚀刻后的填充时间
- 在薄膜磁头制程中省去衬底的抛光