临时粘接,保护涂层,平坦化
Futurrex提供多种特种化学品,可用于特殊加工。这些特种涂层既可作为易去除的粘接剂,用于背面制程中的临时粘接也可作为切割或化学机械抛光(CMP)制程中的防护涂层及用于回蚀的平坦化涂层。所有属于这一类的Futurrex特种涂层,用Futurrex显影液或去胶液很容易去掉。
- PC4-系列 产品涂料可用于平坦化、临时粘接及保护应用。
- RD6系列 光刻胶显影液,可用于正负型光刻胶且显影速度快。
- RR41 & 5系列 化学品,具有独特性能的光刻胶去胶液,并能安全的去除多种临时涂层,且与Si、III/V基衬底、II/VI衬底、氧化铟锡(ITO)及铜、钛、TiW、金、铂、铝、镍、银合金等所有传统金属100%相容。